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日本日立全自動型原子力顯微鏡5500M概述
AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達(dá)臺的全自動型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換,激光對中,測試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動操作平臺。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標(biāo)樣品臺可輕松實現(xiàn)同一視野的相互觀察?分析。
日本日立全自動型原子力顯微鏡5500M特點
1. 自動化功能
高度集成自動化功能追求高效率檢測
降低檢測中的人為操作誤差
2. 可靠性
排除機(jī)械原因造成的誤差
大范圍水平掃描
采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對掃描器圓弧運動所產(chǎn)生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是,用軟件校正方式不能*消除掃描器圓弧運動的影響,圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。
AFM5500M搭載了新研發(fā)的水平掃描器,可實現(xiàn)不受圓弧運動影響的準(zhǔn)確測試。
高精角度測量
普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,在豎直伸縮的時候,會發(fā)生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。
AFM5500M中搭載的全新掃描器,在豎直方向上不會發(fā)生彎曲(crosstalk) ,可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。
Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
* 使用AFM5100N(開環(huán)控制)時
3. 融合性
親密融合其他檢測分析方式
通過SEM-AFM的共享坐標(biāo)樣品臺,可實現(xiàn)在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌,結(jié)構(gòu),成分,物理特性等。
SEM-AFM在同一視野觀察實例(樣品:石墨烯/SiO2)
The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.
上圖是AFM5500M拍攝的形狀像(AFM像)和電位像(KFM像)分別和SEM圖像疊加的應(yīng)用數(shù)據(jù)。
通過分析AFM圖像可以判斷,SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。
石墨烯層數(shù)不同導(dǎo)致表面電位(功函數(shù))的反差。
SEM圖像對比度不同,可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。