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日本日立環(huán)境多功能原子力顯微鏡5300E概述
AFM5300E是一款環(huán)境型原子力顯微鏡，它的環(huán)境控制單元可以使樣品在大氣中、真空中、溶液中等環(huán)境中進(jìn)行測量。AFM5300E還具有高低溫控制功能，可以檢測溫度對樣品表面形貌和物理特性的影響。
日本日立環(huán)境多功能原子力顯微鏡5300E特點
1. 環(huán)境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等）
AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測試環(huán)境，最大限度減小樣品表面吸附水對測試的影響，實現(xiàn)精確的物理特性測量。 真空環(huán)境下可以實現(xiàn)更大范圍的溫度控制。
●大氣中 ●液體中 ●真空中 ●特殊氣氛（流量控制）
●溫度控制 加熱?冷卻(-120～300℃) 高溫(室溫～800℃)
●濕度控制(0～80%)
2. 簡便操作（綜合型Holder Flange）
通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時，免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。 也省去測試模式切換時的支架更換環(huán)節(jié)。
3. 卓YUE的高性能
采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。
4. 通過減輕表面吸附水的影響，提高了電氣性能的檢測精度
真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實現(xiàn)高分辨高靈敏的電學(xué)性能分析。
