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韓國(guó)帕克原子力顯微鏡NX-PTR概述
Park Systems的PTR系列是全自動(dòng)工業(yè)級(jí)線上原子力顯微鏡解決方案，適用于（不限于）長(zhǎng)形條、磁頭萬(wàn)向節(jié)組件(HGA)級(jí)滑塊以及單獨(dú)滑塊的極尖沉降自動(dòng)測(cè)量。憑借著亞納米級(jí)精確度、高重復(fù)精度以及高通量，PTR系列是滑塊廠商提高整體產(chǎn)量的理想測(cè)量工具。
自動(dòng)化、快速、精確且可重復(fù)的極尖沉降測(cè)量
硬盤驅(qū)動(dòng)滑塊制造業(yè)要求工具不僅可以快速且流暢地測(cè)量極尖沉降，同時(shí)保證最高標(biāo)準(zhǔn)的精確度。這便是Park NX-PTR大展身手的領(lǐng)域。在超精確的極尖沉降測(cè)量之外，自動(dòng)化功能可極大程度提高效率。這讓NX-PTR成為硬盤驅(qū)動(dòng)器滑塊廠商的選擇，兼顧樶佳的質(zhì)量和最高的產(chǎn)量。
高通量，無(wú)需多次參考掃描
大多數(shù)原子力顯微鏡需要多次掃描才可以準(zhǔn)確測(cè)量極尖沉降，首先是大區(qū)域參考掃描，隨后小區(qū)域高分辨率掃描。多次掃描占用大量時(shí)間，且限制了通量的提高。我們的掃描系統(tǒng)帶來(lái)真正的平面掃描，有效地降低掃描次數(shù)。此外，True Non-Contact™模式讓探針保持鋒利，在延長(zhǎng)使用壽命的同時(shí)，提供更持久的高分辨率成像效果。相應(yīng)地，Park NX-PTR能夠生成感興趣區(qū)域的詳細(xì)準(zhǔn)確圖像，而無(wú)需進(jìn)行參考掃描，以便修正掃描器偽影。
* 應(yīng)用
自動(dòng)硬盤滑塊測(cè)量
隨著硬盤滑塊的尺寸越來(lái)越小，復(fù)雜性越來(lái)越高，提高產(chǎn)量的關(guān)鍵在于實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精確度。
Park NX-PTR恰恰具備這樣的精確且自動(dòng)的硬盤滑塊測(cè)量。
自動(dòng)極尖沉降測(cè)量與分析
借助NX-PTR系統(tǒng)，極尖沉降測(cè)量可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)，帶來(lái)更高的通量，無(wú)論是對(duì)于載體、長(zhǎng)形條，還是滑塊。
Park Systems的工業(yè)級(jí)院里子顯微鏡精確且穩(wěn)定的全自動(dòng)化極尖沉降(PTR)測(cè)量成為可能。
極尖沉降量的監(jiān)測(cè)要求測(cè)量精度達(dá)到0.1 mm，這意味著離測(cè)量表面只有20 μm遠(yuǎn)。
自動(dòng)墻角測(cè)量與分析
實(shí)現(xiàn)各類墻角的自動(dòng)測(cè)量與分析。
自動(dòng)缺陷測(cè)量與分析
實(shí)現(xiàn)各類缺陷的全自動(dòng)測(cè)量與分析，如表面尖角。
韓國(guó)帕克原子力顯微鏡NX-PTR特點(diǎn)
★ 低噪聲XYZ軸位置傳感器，帶來(lái)更精確的掃描效果
NX-PTR擯棄了常見(jiàn)的非線性Z軸電壓信號(hào)，而是采用超低噪聲Z軸探測(cè)器，從而帶來(lái)無(wú)與LUN比的形貌高度精度。憑借著行業(yè)領(lǐng)xian的低噪聲Z軸探測(cè)器，正向掃描和反向掃描間隙得以降到掃描范圍的0.15%以內(nèi)，甚至可以忽略不計(jì)，而這時(shí)Z軸形貌信號(hào)所無(wú)法企及的。
★ 熱漂移和滯后極小，大大降低探針漂移
NX-PTR具備極為突出的熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性，從而大大降低熱漂移，實(shí)現(xiàn)更為精確的測(cè)量。一般情況下，橫向熱漂移率低于100 nm/°C，而垂直熱漂移率則低于200 nm/°C。
★ 測(cè)量控制自動(dòng)化，釋放您的雙手
NX-PTR配有自動(dòng)化軟件，操作起來(lái)輕而易舉。您只需要選擇想要的測(cè)量程序，并設(shè)定相應(yīng)的懸臂調(diào)諧、掃描速率、增益和點(diǎn)參數(shù)，便可取得多位置分析。此外，Park的用戶友好型界面讓您能夠隨意創(chuàng)建自定義作業(yè)程序，以便您wan全發(fā)揮NX-PTR的實(shí)力，滿足所有的測(cè)量需求。創(chuàng)建新的作業(yè)程序極為簡(jiǎn)單。創(chuàng)建新測(cè)量文件只需要10分鐘左右的時(shí)間，而修改現(xiàn)有的測(cè)量文件則不超過(guò)5分鐘的時(shí)間。
★ Park NX-PTR的自動(dòng)化系統(tǒng)具備：
·自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)模式，讓您掌控全局
·各自動(dòng)程序的可編輯測(cè)量方法
·測(cè)量過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
·自動(dòng)分析所獲取的測(cè)量數(shù)據(jù)
